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微小氣體質量流量計SCMFM

型 號

所屬分類微小氣體流量計

報價

更新時間2025-03-10

產(chǎn)品描述:微小氣體質量流量計SCMFM,能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌產(chǎn)地國產(chǎn)
加工定制質保1年

微小氣體質量流量計SCMFM

采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償。


微小氣體質量流量計SCMFM 技術參數(shù):

2.1  測量介質:各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2  流量范圍:DN3   30-300ml/min

DN6   60-600ml/min

DN8   80-800ml/min

DN10  100-1000ml/min

注:

a)以上流量的測量介質為空氣而言;

b)以上流量的標準狀態(tài)20℃,101.325kPa。

c) 每個口徑量程范圍均可擴大

d)特殊需要可單獨標定

2.3   流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS

2.4   工作溫度范圍:0-55℃;

2.5   工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa

2.6   供電電源:24VDC±10%;

2.7   輸出信號:4-20mA,RS485通訊;

2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;

2.9   顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。

的工作原理:

uf感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作, 保證傳感器的高度*,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性,導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴,大規(guī)模應用比較難"的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計,同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:


微小氣體質量流量計


式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。

如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

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